发明名称 SUPERCONDUCTING THIN FILM FABRICATION.
摘要
申请公布号 EP0407458(B1) 申请公布日期 1994.07.27
申请号 EP19890904891 申请日期 1989.02.23
申请人 THE UNIVERSITY OF ALABAMA AT HUNTSVILLE 发明人 WU, MAW-KUEN
分类号 C01G3/00;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/18;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;C23C14/34 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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