发明名称 IMIDAZOPYRIDINE
摘要
申请公布号 JPH0656832(B2) 申请公布日期 1994.07.27
申请号 JP19880311055 申请日期 1988.12.09
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;H01L21/027;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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