发明名称 |
KAIZENSARETADENKISETSUZOKUBUOJUSURUTAIYOSERU |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0656896(B2) |
申请公布日期 |
1994.07.27 |
申请号 |
JP19870506389 |
申请日期 |
1987.09.17 |
申请人 |
SUPEKUTORO RABU INC |
发明人 |
KABITSUCHI BURUUSU TEI;JIRU HANSU JII;ZEMURICHI DEITAA KEI |
分类号 |
H01L31/04;H01L31/02;H01L31/0224;(IPC1-7):H01L31/04 |
主分类号 |
H01L31/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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