对于表面进行光学扫描用的装置

摘要

本发明描述了一种对表面进行扫描的装置，它包括：一个辐射源；一块配备带有两种光栅结构的光栅的透明平板；一个用于将辐射聚焦在表面上的物镜系统，以及一个用于将该表面反射的辐射转换成电信号的检测系统。光栅中的第一种光栅结构，用作由辐射束中形成例如两侧的光束。通过提供第二种光栅结构，在反射光中由辐射束得到监控束。此监控束射在监控检测器上面以产生出电信号，辐射源的辐射能量则受此电信号控制。

主权项

1、一种对表面进行光学扫描用的装置，该装置包括一个辐射源-检测部件以及用于将该辐射源-检测部件提供的辐射聚焦在该表面上的聚焦装置，所述辐射源-检测部件包括：一个用于提供辐射束的辐射束的辐射源；一块具有第一种光栅结构的光栅，以便由该辐射源提供的辐射束中或由该表面反射的辐射束中形成至少一条偏转的子光束；一个用于将该表面反射的辐射转换成电信号的辐射-敏感检测系统；用于由该辐射源提供的辐射束中形成监控射束的装置，以及用于将此监控束转换成电信号以控制该辐射源的监控检测器，其特征在于监控束形成装置是由该光栅中的第二种光栅结构构成的，而且监控束包括由该光栅反射的辐射。