半导体器件的加速老化的检测系统和方法

摘要

一种检测半导体器件的方法，包括在一段时间给半导体器件通以预定电平的电流脉冲之步骤，以使不合格部分老化，使合格部分稳定，及在加电流脉冲后，测量半导体器件的预定电或光工作特性之步骤。提供一种检测片子上半导体器件的系统，具有一个接触探头，用于把电流脉冲施加到片子上的半导体器件上，一个与探头电连接的测量装置，用于测量片子上半导体器件的预定电或光工作特性，以及一个与测量装置电连接的光探测装置，用于探测由片子上半导体器件发出的辐射。

主权项

1、一种检测半导体器件的方法，包括下列步骤：在一定时间内给半导体器件通以预定电流电平脉冲，以使不合格部分老化，使合适部分稳定；以及在通电流脉冲后，测量半导体器件的电学和光学工作特性。