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发明名称 Optical displacement sensor.
摘要
申请公布号 EP0274091(B1) 申请公布日期 1994.07.27
申请号 EP19870118553 申请日期 1987.12.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 IWAMOTO, KATSUHARU;KAWAKAMI, OSAMU;MIYAGAWA, HIDEO
分类号 G01F23/292;(IPC1-7):G01F23/28 主分类号 G01F23/292
代理机构 代理人
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