Method of automatically chamfering a wafer and apparatus therefor.,申请号EP19890114915-传众专利搜索

发明名称	Method of automatically chamfering a wafer and apparatus therefor.
摘要
申请公布号	EP0354586(B1)	申请公布日期	1994.07.27
申请号	EP19890114915	申请日期	1989.08.11
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED	发明人	KUDO, HIDEO;TAKAOKA, MAKOTO
分类号	B24B9/06;B24B41/00;B24B51/00;(IPC1-7):B24B9/06	主分类号	B24B9/06
代理机构		代理人
主权项
地址