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发明名称 ALIGNMENT DEVICE FOR A MECHANICAL PROBE.
摘要
申请公布号 EP0545952(B1) 申请公布日期 1994.07.27
申请号 EP19910913757 申请日期 1991.08.10
申请人 LEITZ MESSTECHNIK GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG 发明人 LINDNER, MATTHIAS;PHILIPP, MICHAEL
分类号 G01B5/00;B23Q1/26;B23Q16/00;G01B3/00;G01B5/012;G12B5/00;(IPC1-7):G01B3/00;B23Q35/36;G01B13/00 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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