| 发明名称 |
SELECTIVE ETCHING MATERIAL AND METHOD FOR OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06209126(A) |
申请公布日期 |
1994.07.26 |
| 申请号 |
JP19930003002 |
申请日期 |
1993.01.12 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;TOKAI UNIV |
发明人 |
MUKODA MASASHI;MIYAZAWA SHINTARO;NAKADA ICHIRO |
| 分类号 |
C01G1/00;C01G3/00;H01B13/00;H01L21/306;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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