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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06209108(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930246723 申请日期 1993.10.01
申请人 GOLD STAR CO LTD 发明人 YANA AKIHIDE
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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