发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06209002(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930002836 申请日期 1993.01.11
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MATSUKAWA NAOKI;NEMOTO TAKENAO;NOGAMI TAKESHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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