| 发明名称 |
FORMING METHOD OF INSB THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06209130(A) |
申请公布日期 |
1994.07.26 |
| 申请号 |
JP19930002586 |
申请日期 |
1993.01.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
OHASHI NORIKO;MATSUDA TOSHIO;HASHIMOTO HIDETAKA;TARA KATSUJI;MOTOYOSHI KANAME |
| 分类号 |
C23C14/14;H01F10/08;H01F10/26;H01L43/06;H01L43/08;H01L43/12;H01L43/14;H05H1/46;(IPC1-7):H01L43/14 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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