发明名称 MANUFACTURE OF SILICON LAMINATION BODY
摘要
申请公布号 JPH06208962(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930265989 申请日期 1993.10.25
申请人 TONEN CORP 发明人 TAMURA FUMITAKA
分类号 H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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