发明名称 LASER FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06207276(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930000722 申请日期 1993.01.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWADA YOSHITAKA
分类号 C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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