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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0655249(U)
申请公布日期
1994.07.26
申请号
JP19920003666U
申请日期
1992.02.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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