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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06208939(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930002251 申请日期 1993.01.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NITAYAMA AKIHIRO;HIEDA KATSUHIKO
分类号 H01L21/02;H01L21/28;H01L23/12;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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