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发明名称 FORMATION OF THIN INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH06209048(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930003284 申请日期 1993.01.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YANO TAKASHI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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