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发明名称 PRODUCTION OF SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06208949(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930002111 申请日期 1993.01.08
申请人 ROHM CO LTD 发明人 TAKASU HIDESHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/205;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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