发明名称 SURFACE INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06207910(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930002909 申请日期 1993.01.11
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 TAKAHASHI IPPEI;SANO SHOICHI;KUBOTA TOSHIHARU
分类号 G01B11/30;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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