发明名称 |
SURFACE INSPECTION APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06207910(A) |
申请公布日期 |
1994.07.26 |
申请号 |
JP19930002909 |
申请日期 |
1993.01.11 |
申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI IPPEI;SANO SHOICHI;KUBOTA TOSHIHARU |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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