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发明名称 MAGNETIC CIRCUIT OF PERMANENT MAGNET FOR MAGNETRON PLASMA
摘要
申请公布号 JPH06207271(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930017979 申请日期 1993.01.08
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 OHASHI TAKESHI
分类号 C23C14/35;C23F4/00;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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