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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204180(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920348099 申请日期 1992.12.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUDA IZURU;KIMURA TADASHI;NAGANO YOSHINOBU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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