发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204235(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920358702 申请日期 1992.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 OGAWA TOSHIHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/45;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/331;H01L29/784 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址