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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204332(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930000145 申请日期 1993.01.05
申请人 NEC CORP 发明人 INAI MAKOTO;HONMA TETSUYA
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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