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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06204193(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920359126 申请日期 1992.12.25
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIHARA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/304;H01L29/784 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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