| 发明名称 |
METHOD AND FURNACE FOR HIGH PRESSURE OXIDATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06204210(A) |
申请公布日期 |
1994.07.22 |
| 申请号 |
JP19930321130 |
申请日期 |
1993.11.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD |
发明人 |
MORIKAWA SUSUMU;NAKAYAMA JUNICHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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