发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06204257(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930001031 申请日期 1993.01.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJIMOTO KAZUHISA
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/46 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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