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发明名称 CLEANING DRIER
摘要
申请公布号 JPH06204202(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920348050 申请日期 1992.12.28
申请人 HITACHI LTD;DAICEL CHEM IND LTD;HOECHST JAPAN LTD;KIMMON MFG CO LTD 发明人 YAMAMOTO MASASHI;NIIMURA YOSHIAKI;MITSUDA KATSUHIRO;HONDA ZENJIRO;MIHARA KAZUO;NAKATSUKA NOBUYUKI;SHIRAI HIDEKI;ICHIKO YASUHIRO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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