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发明名称 ORGANIC METAL VAPOR GROWTH EQUIPMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH06204145(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920360276 申请日期 1992.12.30
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 KATAYAMA MIGAKU
分类号 C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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