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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SILICON CRYSTAL FILM BY THERMAL CVD
摘要
申请公布号
JPH06204142(A)
申请公布日期
1994.07.22
申请号
JP19920347765
申请日期
1992.12.28
申请人
TONEN CORP
发明人
SAGAWA YASUNORI
分类号
C23C16/24;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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