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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06204151(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19910044120 申请日期 1991.02.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 JIYOERU PEREARA DESUUZA;JIEIMUZU HENRII GURAINA;DEBUENDORA KUMAARU SADANA
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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