发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204173(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930001480 申请日期 1993.01.08
申请人 NEC CORP 发明人 OOKA HIDEYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90;H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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