发明名称 METHOD FOR FORMING SOURCE/DRAIN ON SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH06204161(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930261227 申请日期 1993.10.19
申请人 HIYUNDAI ELECTRON IND CO LTD 发明人 UU BON RII;SAN KI HON;YUN AAMU YAN;YAE UOAN KOO;IRU SUN HIYUN
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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