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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204272(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930001040 申请日期 1993.01.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SAITO AKIRA
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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