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发明名称 Verfahren zum Herstellen von integrierten Schaltungen mit FET.
摘要
申请公布号 DE3888937(T2) 申请公布日期 1994.07.21
申请号 DE19883888937T 申请日期 1988.11.25
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y. 发明人 LEE, KUO-HUA, WESCOSVILLE PENNSYLVANIA 18106;LU, CHIH-YUAN, WESCOSVILLE PENNSYLVANIA 18106;YANEY, DAVID STANLEY, BETHLEHEM PENNSYLVANIA 18017
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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