发明名称 Equipment for removing static electricity from charged articles existing in clean space.
摘要
申请公布号 EP0386318(B1) 申请公布日期 1994.07.20
申请号 EP19890119098 申请日期 1989.10.13
申请人 TAKASAGO THERMAL ENGINEERING CO. LTD. 发明人 SAKATA, SOICHIRO;YOSHIDA, TAKANORI;OKADA, TAKAO
分类号 H01T23/00;H02M9/06;H05F3/04;(IPC1-7):H05F3/04 主分类号 H01T23/00
代理机构 代理人
主权项
地址