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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0654759(B2)
申请公布日期
1994.07.20
申请号
JP19860136519
申请日期
1986.06.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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