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发明名称 Chemical vapor growth apparatus.
摘要
申请公布号 EP0426105(B1) 申请公布日期 1994.07.20
申请号 EP19900120789 申请日期 1990.10.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MIYAZAKI, SHINJI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/34 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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