发明名称 PRESSURE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06201501(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19920348255 申请日期 1992.12.28
申请人 SONY CORP 发明人 HIRATA MASAHIRO
分类号 C23C14/54;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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