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发明名称 CLEANING APPARATUS AND CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06198255(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19920360431 申请日期 1992.12.28
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD;IWAKUNI SEISAKUSHO:KK 发明人 TSUCHIDA YOSHIKI;EGI ITSUO
分类号 B08B3/08;C23G3/02;(IPC1-7):B08B3/08 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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