发明名称 MANUFACTURE OF METAL-COATED POLYIMIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06200396(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19930015974 申请日期 1993.01.05
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 TAMIYA YUKIHIRO;TAKENAKA MIKIMATA
分类号 C23C18/32;C23C18/16;C23C18/52;C25D5/34;C25D5/56;H01L21/60;H05K3/18;(IPC1-7):C25D5/56 主分类号 C23C18/32
代理机构 代理人
主权项
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