| 发明名称 |
PRODUCTION OF QUARTZ GLASS MEMBER FOR EXCIMER LASER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06199532(A) |
申请公布日期 |
1994.07.19 |
| 申请号 |
JP19910182857 |
申请日期 |
1991.06.29 |
| 申请人 |
SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD;SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
NISHIMURA HIROYUKI;FUJINOKI AKIRA;MATSUTANI TOSHIKATSU;TAKITA MASATOSHI |
| 分类号 |
G02B1/00;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;C03B37/014;C03C3/06;(IPC1-7):C03B20/00 |
主分类号 |
G02B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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