| 发明名称 |
LIQUID MATERIAL VAPORIZATION SUPPLY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06201544(A) |
申请公布日期 |
1994.07.19 |
| 申请号 |
JP19930017931 |
申请日期 |
1993.01.09 |
| 申请人 |
STEC KK |
发明人 |
KONO TAKESHI;ISHIKAWA KYOICHI |
| 分类号 |
G01N1/22;B01J4/00;B01J7/02;H01L21/31;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
G01N1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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