| 发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING DIAMOND FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06199596(A) |
申请公布日期 |
1994.07.19 |
| 申请号 |
JP19930224847 |
申请日期 |
1993.09.10 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MATSUYAMA HIDEAKI;YAMADA KEIKO;ENDO TOMOKO |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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