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发明名称 PRODUCTION OF AMORPHOUS SILICON FILM
摘要
申请公布号 JPH06199514(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19930323211 申请日期 1993.11.29
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAKAMURA KUNIOMI
分类号 C01B33/02;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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