| 发明名称 |
INSPECTION DEVICE FOR APPEARANCE OF BUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06201332(A) |
申请公布日期 |
1994.07.19 |
| 申请号 |
JP19930000617 |
申请日期 |
1993.01.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TSUKAHARA HIROYUKI;OSHIMA YOSHITAKA;FUSE TAKASHI;ANDO MORITOSHI |
| 分类号 |
G01B11/02;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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