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发明名称 ETCHANT, METHOD FOR ETCHING MEMBER SURFACE, PRODUCTION OF ELECTRONIC PARTS, CLEANER, METHOD FOR CLEANING MEMBER AND PRODUCTION OF DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06200384(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19920285338 申请日期 1992.09.30
申请人 ALPS ELECTRIC CO LTD 发明人 SEKI HITOSHI;MIYAZAWA SATOSHI;FUKUI HIROFUMI;KASAMA YASUHIKO;ABE AKIRA;NAKAMURA ISAO;OMI TADAHIRO;OGINO KAZUKO
分类号 C23F1/24;C11D7/08;C11D11/00;C23G1/08;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/24 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
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