发明名称 SCANNING TUNNELING MICROSCOPE AND MEASURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06194115(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920357119 申请日期 1992.12.22
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 YAMAMOTO HIKARI
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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