发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06194408(A) |
申请公布日期 |
1994.07.15 |
申请号 |
JP19920343028 |
申请日期 |
1992.12.24 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KUBOTA TOMOHIRO;KAWANA KEIICHI |
分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|