发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06196452(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920347121 申请日期 1992.12.25
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOKUBU TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址