发明名称 VERFAHREN ZUR STEUERUNG DER VERDAMPFUNGSRATENVERTEILUNG EINES ELEKTRONENSTRAHLS.
摘要
申请公布号 AT108283(T) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 AT19890119229T 申请日期 1989.10.17
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WEGMANN, URS, DIPL. ING. ETH;SIGNER, HANS;KOLLER, ALBERT, EL. ING. ETH
分类号 C23C14/30;C23C14/54;H01J37/302;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/302 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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